四氯化硅资料分享

webmaster · 发表于 2012-11-2 06:44:00

四氯化硅作为改良西门子法生产多晶硅的副产物，以前的工艺采用热氢化转化为三氯氢硅继续使用，但由于转化率低，且能耗比较大，并未对降低成本带来多少效果，而目前的冷氢化技术对此有了不少改观。如何有效的利用四氯化硅一直是改良西门子法生产多晶硅企业的的目标。
发一些关于四氯化硅的资料。有用到的可以下载看看。

匿名 *发表于 2012-11-2 15:27:00* · 发表于 2012-11-2 15:27:00

O(∩_∩)O谢谢分享好资料啊

匿名 *发表于 2012-11-6 10:07:00* · 发表于 2012-11-6 10:07:00

楼主好人哦。。。。嘎嘎