多晶硅“碳头料”清洗使用研究

通过自配的SORNID系列清洗液研究了其对多晶硅“碳头料”的清洗效果及清洗“碳头料”后对多晶铸锭的影响。采用红外探伤检测仪(IR探伤)、微波光电导衰减仪(μ-PCD)和傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)进行了综合表征。研究表明：SORNID-3清洗液对 “碳头料”清洗效果明显；使用120kg 清洗后“碳头料”完全满足多晶铸锭的工业要求，所铸晶锭具有厘米级大晶粒，呈柱状晶粒结构；平均少子寿命能达到3.57μs，晶棒少子寿命分布呈倒U型，收益率能达到69.16%；硅片替位碳含量低于 10ppm。