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硅材料中氮的性质和研究

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    [LV.6]常住居民II

    webmaster 发表于 2012-11-14 04:04:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    氮在硅材料中的应用日渐广泛, 影响也日渐重要, 本文在论述晶体硅中氮的基本性质的同时, 综述了近年来氮在硅中的存在形态, 氮对硅机械强度的影响以及和氧原子的互相作用等方面的研究成果, 并指出了研究中仍然存在的一些问题。
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