合成三氯氢硅系统工艺和新方法

tangnaimei · 发表于 2012-11-9 01:40:00

“硅讯网："现在在多晶硅生产中，关注还原和氢化的工艺比较多，但是合成工艺也是比较重要的，但是关于合成三氯氢硅的技术还是没有多大进展，基本上还停留在目前的技术水平上，研究新合成技术也是比较重要的。

匿名 *发表于 2012-11-9 09:49:00* · 发表于 2012-11-9 09:49:00

新工艺走的是啥路线，了解一下

匿名 *发表于 2012-11-9 12:06:00* · 发表于 2012-11-9 12:06:00

分享一下，让大家学习

匿名 *发表于 2012-11-9 21:08:00* · 发表于 2012-11-9 21:08:00

现在的合成工艺是没什么进展

匿名 *发表于 2012-11-14 12:38:00* · 发表于 2012-11-14 12:38:00

有新的进展,只是现在没有人上了,新工艺,维修频率大幅下降,流程简单,操作方便,特别是硅粉回收,尾气回收,都有独特的优化,并且有使用事例..

匿名 *发表于 2012-11-14 14:55:00* · 发表于 2012-11-14 14:55:00

分析的很到位