气质色谱检测三氯氢硅中碳含量操作规程

三氯氢硅中的碳一般会以烷烃的形式存在，碳含量的多少会影响到后续多晶硅产品的质量，而碳含量的检测一般可以使用气质色谱，具体检测规程可参考下面文章。
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