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精功新材料千吨级歧化法制备高纯硅烷技术完成
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精功新材料千吨级歧化法制备高纯硅烷技术完成
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[LV.7]常住居民III
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发表于 2012-10-25 01:27:00
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2012年10月19日,浙江精功新材料技术有限公司独立承担的千吨级岐化法制备高纯硅烷的技术开发项目已经圆满结束,该技术采用四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅、三氯氢硅歧化制备硅烷、硅烷流化床法制备多晶硅。同时高纯硅烷气本身也是一个高附加值的产品,具有广阔的应用前景。高纯硅烷气还是生产高纯多晶硅(≥11N)的原料;用硅烷热分解
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