硅片抛光液

蔡贞玉 · 发表于 2009-9-29 12:24:51

请高手指点：国内硅片抛光液比较好的型号是哪些？
进口产品主要有哪些？进口产品占的市场比例大吗？
多谢！
这是我查到的一些产品，希望对大家有帮助

zhuoqun · 发表于 2009-10-16 10:07:09

据我知道的，能生产硅片抛光液的企业，世界上没有几家，因为硅片的抛光对抛光液中固体粒径要求很高，一般要求抛光液中固体粒径在：1-2nm（纳米），而且，要求粒径均一（就是分布窄）！国内没有厂家生产，而且全部都是国外进口的！

93407588 · 发表于 2010-1-20 15:54:32

记得日本也有做抛光液的

阿春－白碳黑 · 发表于 2010-4-6 11:15:53

晶圆抛光？日本和韩国的比较多，用的气相白碳黑比较特殊，好像不像楼上的说的那样，1－3个nm，用的是比表面积100平方米/克的QS-09（德山），要求比较高的地方是杂志含量非常高，稍微有差异就被冠以不合格品。当然生产抛光液用的水也是要求比较高的去离子水咯。（片面的，不晓得是不是说的同一个东西）。

贵友 · 发表于 2010-8-1 10:10:20

中科院上海有机化学所也在做，但目前清洗后水渍残留在上面，怎样使水渍不残留，用怎样的表面活性剂处理，我们有机硅行业的同行能不能动动脑筋。