一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉

一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉，属于化工生产设备技术领域，目的是更好的稳定炉温，使炉内化学反应平衡稳定，其技术方案是：它由储油罐、油泵、油加热器、废热锅炉、合成炉组成，合成炉内的热反应交换管路内灌输有导热油，合成炉的热反应交换管路的出油口通过输送管路与储油罐相连接，储油罐通过输油管路与油泵、油加热器、废热锅炉依次连接，输送管路中的导热油通过废热锅炉后通过输油管路连接到合成炉的热反应交换管路的进油口。本实用新型利用导热油带走合成炉内的热量，稳定炉温，稳定化学反应平衡，具有加热均匀、调温控制准确、传热效果好、在低蒸汽压下产生高温等优点，实现了三氯氢硅合成炉的加热和冷却控制。
申请号： 201120411439
申请人： 唐山三孚硅业股份有限公司