还原炉的视镜模糊？

tangnaimei · 发表于 2012-11-13 03:51:00

为什么还原炉的视镜过段时间就开始变的模糊起来，看不清里面硅棒的生长状况。。
有什么好的办法防止这一现象么？模糊了该如何处理呢？

匿名 *发表于 2012-11-13 11:53:00* · 发表于 2012-11-13 11:53:00

与工艺操作有关，温度低就会出现无定型硅，要改善工艺操作（提点温度等）；
处理的话，拆炉后用氟化氢铵清洗下用氮气吹干再安上就可以了

匿名 *发表于 2012-11-13 15:51:00* · 发表于 2012-11-13 15:51:00

外面贴手机膜哈

匿名 *发表于 2012-11-14 01:12:00* · 发表于 2012-11-14 01:12:00

这个和进料配比有也有关系，如果料太大好像也会这杨

匿名 *发表于 2012-11-14 11:17:00* · 发表于 2012-11-14 11:17:00

操作细节很重要,而且要分是雾化导致的,还是清洗导致的,各有针对方法...