TA的每日心情  | 慵懒 9 小时前 | 
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  签到天数: 142 天 [LV.7]常住居民III  
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简单普及贴,介绍一些多晶硅生产中的很基本的一些名词概念,适合入行的同仁了解。 
    1. 半导体: 
      介于导体和绝缘体之间的物质叫半导体。 
2. 电阻率: 
      是指一根长度和截面积都是一个单位的导体的电阻就叫电阻率。 
特性: 
1) 半导体的电阻率对温度的反应特别敏感; 
2) 微量的杂质能显著的改变半导体的电阻率; 
3) 适当的光照可使半导体的电阻率显著改变。 
3.  N、P型半导体 
N型半导体: 
我们把主要依靠电子导电的半导体叫着电子型或N型半导体(施主杂质)。 
  P型半导体: 
      我们把主要依靠空穴导电的半导体叫着空穴型或P型半导体(受主杂质)。 
4. 寿命: 
      就是非平衡载流子载半导体中存在的时间。 
5. 基磷: 
      是指在多晶硅中所含杂质磷的真是浓度。 
   基硼: 
      是指在多晶硅中所含杂质硼的真是浓度。 
6. 实收率: 
      实际炉产量于所用三氯氢硅料中含硅量之比。 
   沉积速度: 
      是指在还原反应中单位时间内,沉积硅的重量。 
   沉积速率: 
      是指在还原反应中单位时间内、单位载体长度上沉积硅。 
   沉积速率=炉产量/总沉积时间×载体总长度 
   单位:(克/小时.厘米、千克/小时.厘米) 
   配比: 
      是指还原过程中氢气和三氯氢硅的用量之比(克分子子比)。 
7. 氧化夹层: 
      在还原过程中,当原料混合气中混有水汽或氧时,则会发生水解及氧化,生成一层二氧化硅附着在硅棒上。在这种被氧化的硅棒上有继续沉积硅时,就形成了氧化夹层。 
8. 硅油: 
     硅油时一种大分之量的高分之硅卤化物(SiCL2)n.H2n,其中含硅25﹪,呈油状的物质,这种油状物质在还原过程中低温处产生的(低于300℃),往往沉积在炉壁、底盘、喷口、电极及观察口石英片等冷壁处。 |   
 
 
 
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