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多晶硅工艺分析
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多晶硅工艺分析
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webmaster
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TA的每日心情
开心
2025-6-10 14:30
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[LV.7]常住居民III
webmaster
发表于 2012-11-4 13:01:00
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纵观全球多晶硅工艺发展史,化学法多晶硅工艺占据主导地位。其中主要由以下成熟的路线:
(1) 三氯氢硅路线:改良西门子工艺、NEDO流化床工艺、循环还原炉工艺;
(2) 二氯氢硅路线:赫姆洛克DCS还原炉工艺;
(3) 硅烷路线:UCC还原炉和UCC流化床工艺;
这三种工艺具体是怎么样的呢?发一个文档,大家可以作为了解
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发表于 2012-11-5 08:36:00
谢谢分享!
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匿名
发表于 2012-11-5 09:14:00
了解一下,谢谢
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