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多晶硅工艺分析

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  • TA的每日心情
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    [LV.7]常住居民III

    webmaster 发表于 2012-11-4 13:01:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    纵观全球多晶硅工艺发展史,化学法多晶硅工艺占据主导地位。其中主要由以下成熟的路线:
    (1) 三氯氢硅路线:改良西门子工艺、NEDO流化床工艺、循环还原炉工艺;
    (2) 二氯氢硅路线:赫姆洛克DCS还原炉工艺;
    (3) 硅烷路线:UCC还原炉和UCC流化床工艺;
      这三种工艺具体是怎么样的呢?发一个文档,大家可以作为了解
    匿名  发表于 2012-11-5 08:36:00
    谢谢分享!
    匿名  发表于 2012-11-5 09:14:00
    了解一下,谢谢

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