多晶硅还原炉筒清洗步骤

" 硅讯网:" 多晶硅还原炉炉筒清洗方法，包括下述步骤：（1）拆开多晶硅还原炉的视镜；（2）用去离子水对还原炉炉筒内壁进行冲洗；（3）用涤纶无纺布蘸取质量分数为5%-10%的氟化氢铵溶液对炉筒内壁进行擦拭，让其溶液在内壁停滞10-15min；（4）用去离子水对还原炉炉筒内壁进行冲洗；（5）再次用涤纶无纺布蘸取质量分数为2%-4%的氟化氢铵溶液对炉筒内壁进行擦拭，让其溶液在炉筒内壁停滞10-15min；（6）用去离子水炉筒内壁进行冲洗，并用氮气吹干；（7）用无水乙醇擦拭炉筒内壁，待到乙醇挥发完全后，用干燥的涤纶无纺布再擦拭一遍。

氟化氢铵不是有毒吗，这样清洗风险太大了

氟化氢铵是有毒，但是没你想的那么厉害，低浓度的溶液洗炉筒，没问题的，这个有的生产企业经常使用。