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多晶硅还原中三氯氢硅几种气化方式比较
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多晶硅还原中三氯氢硅几种气化方式比较
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TA的每日心情
慵懒
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[LV.7]常住居民III
webmaster
发表于 2012-10-23 12:15:00
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进还原炉前的三氯氢硅要进行气化，气化的方式有鼓泡式气化、列管式气化和liebig管式气化，这三种气化有什么不同呢？
共享一个文献，想了解的可以下来看看的！
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