碳化硅填料能有效的吸附B、P杂质

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[LV.1]初来乍到

甘棠 发表于 2012-9-12 06:28:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

”硅讯网：“多晶硅质量控制，在原料方面非常重要，因此要控制三氯氢硅中B、P含量最低，以降低系统中杂质含量，经过对碳化硅性能分析，据资料显示碳化硅比其他金属丝填料有更好的吸附性能，这样可以提高精馏效果，除去大部门杂质，提高产品质量。