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一种四氯化硅氢化方法

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    2023-8-15 15:26
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    [LV.5]常住居民I

    tangnaimei 发表于 2012-7-3 02:09:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本发明涉及一种四氯氢硅氢化方法,其步骤如下:先将四氯化硅与氢气分别加热至450~600℃后,混合均匀通入放有过量干燥硅粉的氢化反应器中,再持续通入加热至400~500℃的氯化氢,反应得到混合气体A;将混合气体A依次进行干法除尘和湿法除尘,除去夹杂的固体颗粒,得到混合气体B;将混合气体B降温冷凝,分离出氢气,得到混合液体C;将混合液体C进行精馏,分离出四氯化硅,得到三氯氢硅。本发明方法操作简单方便,能连续稳定生产,耗能低,不仅可以消耗四氯化硅,而且将还原炉内产生的氯化氢一并回收利用,基本上实现了厂内物料闭路循环,清洁生产零排放的目标。

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