国外多晶硅生产技术发展的特点:
1)研发的新工艺技术几乎全是以满足太阳能光伏硅电池行业所需要的太阳能级多晶硅。
2)研发的新工艺技术主要集中体现在多晶硅还原炉反应器装置上,多晶硅生成反应器是复杂的多晶硅生产系统中的一个提高产能、降低能耗的关键装置。
3)研发的流化床(FBR)反应器粒状多晶硅生成的工艺技术,将是生产太阳能级多晶硅首选的工艺技术。其次是研发的石墨管状炉(Tube-Recator)反应器,也是降低多晶硅生产电耗,实现连续性大规模化生产,提高生产效率,降低生产成本的新工艺技术。
4)流化床(FBR)反应器和石墨管状炉(Tube-Recator)反应器,生成粒状多晶硅的硅原料可以用硅烷、二氯二氢硅或是三氯氢硅。 |